单晶硅超精密加工技术仿真
作者: 史立秋 著6.46万字27人 正在读
已完结现代当代当代文学
目录 (72章)
倒序
正文
01 绪论02 .1.1 单晶硅脆塑性转变机理研究的国内外现状03 .1.2 金刚石刀具的超精密加工现状04 .2.1 有限元软件的选择和简介05 .2.2 有限元超精密切削的仿真研究现状06 .3 单晶硅超精密切削的分子动力学仿真发展现状07 超精密切削有限元理论研究及模型建立08 .1.1 切削变形区09 .1.2 超精密切削机理及最小切削深度10 .2 有限元法的概述11 .3 非线性有限元基础与求解方法12 .3.1 非线性问题的分类13 .3.2 非线性有限元的求解方法及迭代的收敛判据14 .4 Marc超精密切削的有限元建模15 .4.1 建立超精密切削的几何模型16 .4.2 建立刀具和工件的材料模型17 .4.3 建立接触摩擦模型18 .4.4 边界条件的定义19 .4.5 建立切屑的分离模型20 .4.6 热机耦合21 .5 本章小结22 单晶硅二维精密切削过程的有限元仿真和结果分析23 .1.1 切屑形成机理的研究24 .1.2 刀具几何参数对切屑形状的影响25 .1.3 切削参数对切屑形状的影响26 .2.1 切削力随时间的变化规律27 .2.2 刀具几何参数对切削力的影响28 .2.3 切削参数对切削力的影响29 .3.1 单晶硅应力场的分布30 .3.2 刀具几何参数对应力的影响31 .3.3 切削参数对应力的影响32 .4.1 单晶硅超精密切削的切削温度场33 .4.2 刀具几何参数对切削温度的影响34 .4.3 切削参数对切削温度最大值的影响35 .5 本章小结36 单晶硅超精密切削实验及有限元模型的验证37 .1.1 超精密加工系统组成38 .1.2 超精密加工系统原理39 .2 超精密切削的实验研究40 .3 本章小结41 单晶硅纳米加工的三维仿真42 .1 三维有限元建模43 .2 单晶硅晶面的选择44 .3 单晶硅微纳结构的加工45 .4 本章小结46 单晶硅超精密切削的分子动力学建模47 .1.1 分子动力学仿真的基本思想和理论48 .1.2 周期性边界条件49 .1.3 分子动力学系统的运动方程50 .1.4 积分算法与势函数51 .1.5 系综概念52 .1.6 时间步长53 .2 分子动力学仿真步骤54 .3 仿真模型的建立55 .4 本章小结56 硅表面超精密切削的分子动力学仿真与分析57 .1.1 仿真模拟参数设定58 .1.2 弛豫分析59 .2.1 原子间势能分析60 .2.2 切削力分析61 .3 单晶硅纳米切削机理分析62 .4 本章小结63 加工参数对硅表面切削过程的影响64 .1 切削深度对仿真结果的影响65 .2 切削速度对仿真结果的影响66 .3 刀具前角对仿真结果的影响67 .4 刀尖形状对仿真结果的影响68 .5 本章小结69 参考文献(1)70 参考文献(2)71 参考文献(3)72 参考文献(4)
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